一、操作前準備?

1.設備檢查?

檢查真空系統（機械泵、擴散泵、羅茨泵等）是否正常

確認爐體密封性（O型圈、法蘭、閥門無泄漏）

檢查冷卻水系統（流量、壓力是否達標）

確保加熱元件（如石墨、鉬絲）無損壞

2.工件準備?

清潔工件表面，去除油污、氧化皮等雜質

避免使用含鋅、鎘等易揮發金屬的鍍層

合理裝爐，避免工件接觸加熱元件或爐壁

3.工藝參數設定?

根據材料要求設定升溫曲線、保溫時間、冷卻方式

確定真空度要求（低真空：10?1~10?3 Pa；高真空：≤10?? Pa）

二、操作流程?

1.抽真空?

先啟動機械泵抽至低真空（10?1~10?2 Pa）

再啟動擴散泵（若需高真空，需預熱20~30分鐘）

達到目標真空度后，方可開始加熱

2.加熱階段?

按預設程序升溫，避免過快導致熱應力開裂

在低溫階段（<600℃）適當通入惰性氣體（如Ar、N?）以減少揮發

監控爐內壓力，防止材料揮發污染爐膛

3.保溫階段?

保持設定溫度和時間，確保組織均勻化

持續監測真空度，必要時補充惰性氣體

4.冷卻階段?

氣淬?：通入高純惰性氣體（如N?、Ar）快速冷卻

油淬?：適用于部分合金鋼，需使用真空淬火油

爐冷?：關閉加熱，自然冷卻至安全溫度（<150℃）

5.破空取件?

冷卻至安全溫度后，緩慢充入空氣至常壓

避免快速破空導致工件氧化或爐體損傷

總結?：真空爐熱處理的關鍵在于?真空控制、溫度精準、冷卻合理?。操作時需嚴格遵循工藝曲線，確保設備安全，才能獲得理想的熱處理效果。